L'imballaggio e l'integrazione su scala wafer sono accreditati per la nuova generazione di prodotti a basso contenuto di movimenti MEMS
Questo documento descriverà un nuovo approccio in arrivo sul mercato che romperà la barriera alla creazione dei sensori ideali in movimento con la promessa di soddisfare le esigenze del mercato in dimensioni, prestazioni e costi.
Questo nuovo approccio unico deriva dal processo brevettato di fabbricazione MEMS con l'integrazione verticale di MEMS con elettronica CMOS che raggiunge l'imballaggio su scala di wafer per consentire una generazione di prodotti per il rilevamento del movimento che soddisfano la domanda di mercato.
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